歌尔微申请微机电芯片专利，通过设置限位结构减少内膜的振颤晃动与位移
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2024-04-05 13:44:57
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金融界2024年4月5日消息，据国家知识产权局公告，歌尔微电子股份有限公司申请一项名为“一种微机电芯片“，公开号CN117835132A，申请日期为2022年9月。
专利摘要显示，本申请公开了一种微机电芯片，包括衬底、支撑结构层、振膜层和背极层；所述衬底、所述支撑结构层中部均设有空腔；所述振膜层，包括内膜和与所述内膜相连接的连接柄，所述内膜、所述背极层均与所述空腔相对，所述内膜和所述连接柄的外侧与所述支撑结构层之间开设有气流孔，所述连接柄顶端与所述支撑结构层连接；所述气流孔内侧表面设有限位凸起。在本申请中，通过设置限位结构减少内膜的振颤晃动与位移，以减少连接柄因内膜振颤晃动的断裂风险。
来源：金融界
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